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- インゴット
- インゴットとはCZ法・FZ法によって製造されるシリコンの結晶体です。
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- インゴット
- インゴットとはCZ法・FZ法によって製造されるシリコンの結晶体です。
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- スライシング
- インゴットをワイヤーソー装置で目標の厚さ、結晶方位の円盤状に切断。この状態のウエハーをアズカット・ウエハーといいます。
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- スライシング
- インゴットをワイヤーソー装置で目標の厚さ、結晶方位の円盤状に切断。この状態のウエハーをアズカット・ウエハーといいます。
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- べべリング
- スライスされたウエハーの外周部を目標の直径・形状にするためにホイールより研削する。同時に外縁部の加工歪層を除去します。
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- べべリング
- スライスされたウエハーの外周部を目標の直径・形状にするためにホイールより研削する。同時に外縁部の加工歪層を除去します。
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- ラッピング
- 切断時の加工歪層を除去し平坦度を高め、厚さバラツキを小さくするために、両面研磨をします。この状態のウエハーをラップドウエハーといいます。
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- ラッピング
- 切断時の加工歪層を除去し平坦度を高め、厚さバラツキを小さくするために、両面研磨をします。この状態のウエハーをラップドウエハーといいます。
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