ポリッシュドウェーハ

ポリッシュドウェーハ生産プロセス

ポリッシュドウェーハウェーハ生産工程1
インゴット
インゴットとはCZ法・FZ法によって製造されるシリコンの結晶体です。
拡散ウェーハ生産工程
拡散ウェーハ生産工程1
インゴット
インゴットとはCZ法・FZ法によって製造されるシリコンの結晶体です。
スライシング
インゴットを内周刃切断機、またはワイヤーソーサー切断機で目標の厚さ、結晶方位の円盤状に切断。この状態のウエーハをアズカット・ウェーハといいます。
拡散ウェーハ生産工程2
スライシング
インゴットを内周刃切断機、またはワイヤーソーサー切断機で目標の厚さ、結晶方位の円盤状に切断。この状態のウエーハをアズカット・ウェーハといいます。
ポリッシュドウェーハウェーハ生産工程3
べべリング
スライスされたウェーハの外周部を目標の直径・形状にするためにホイールより研削する。同時に外縁部の加工歪層を除去します。
拡散ウェーハ生産工程3
べべリング
スライスされたウェーハの外周部を目標の直径・形状にするためにホイールより研削する。同時に外縁部の加工歪層を除去します。
ポリッシュドウェーハウェーハ生産工程4
ラッピング
切断時の加工歪層を除去し平坦度を高め、厚さバラツキを小さくするために、両面研磨をします。この状態のウエーハをラップドウェーハといいます。
拡散ウェーハ生産工程4
拡散ウェーハ生産工程4
ラッピング
切断時の加工歪層を除去し平坦度を高め、厚さバラツキを小さくするために、両面研磨をします。この状態のウエーハをラップドウェーハといいます。

エッチング
ラッピングで取り切れない加工歪層を化学的方法で除去し表面を滑らかにします。同時にラップドウェーハの表面の異物を除去します。
ポリッシング
エッチドウェーハの表面を研磨し、高平坦でキズや不純物の無い高品質な鏡面に磨き上げますこの状態をポリッシュド・ウェーハといい、歪が全く無い美しい鏡面を持つウェーハです。
クリーニング
各工程の後には必ず入念なクリーニングが行われ、次ぎの工程へ送られます。ハイグレードの薬品や超純水を用いて、スーパークリーンを実現しています。
インスペクション
検査工程では、厚さ、平坦度、微細なキズなどを最新鋭の検査機器を用いてチェックします。
包装・出荷
製品は、その品質が輸送中に損なわれないよう、厳重な包装をして出荷します。
PAGETOP
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